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近日，濟南市艾恩半導體科技有限公司（以下簡稱“艾恩半導體”）首款自主研發(fā)的硅基中束流離子注入機成功下線，這一突破為濟南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補鏈強鏈再添關鍵一環(huán)，進一步完善了芯片制造核心裝備的產(chǎn)業(yè)拼圖。

作為山東省集成電路產(chǎn)業(yè)重要集聚區(qū)，濟南高新區(qū)先后培育和引進了涵蓋芯片設計、芯片制造、封裝測試等半導體產(chǎn)業(yè)鏈的相關企業(yè)。離子注入機作為芯片制造關鍵裝備之一，成為濟南高新區(qū)招引的目標。該設備技術壁壘高，研發(fā)難度大、周期長，其工藝需精準控制離子注入的劑量、角度、均勻性等參數(shù)，精度要求達到納米級，被譽為芯片的“微型電工師”，海外企業(yè)長期占據(jù)該產(chǎn)品市場主導份額。

為完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條，補齊芯片制造設備關鍵短板，濟南高新區(qū)積極與原廣州市艾恩半導體科技有限公司開展對接。該企業(yè)聚焦離子注入機的研發(fā)生產(chǎn)，提供國產(chǎn)化替代及代工服務，是國內(nèi)重要的離子注入機設備研制企業(yè)之一。為推動項目落地，濟南高新區(qū)投資促進部聯(lián)合魯信創(chuàng)投集團、濟南財投基金集團、山東產(chǎn)研創(chuàng)業(yè)投資有限公司等投資機構，出資參與該企業(yè)天使輪融資，為企業(yè)的前期發(fā)展注入了關鍵資金。依托山東產(chǎn)業(yè)配套優(yōu)勢，該企業(yè)離子注入機所需近2萬個零部件中，過半可在山東完成采購和加工，顯著降低供應鏈風險。2024年底，廣州市艾恩半導體科技有限公司將總部從廣州遷至濟南高新區(qū)，正式更名為濟南市艾恩半導體科技有限公司。

項目一經(jīng)落地，濟南高新區(qū)積極組織企業(yè)參加濟南市創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽。憑借自身強大的技術實力和創(chuàng)新能力，艾恩半導體在大賽中脫穎而出并獲獎，更加堅定了在濟南高新區(qū)創(chuàng)業(yè)發(fā)展的決心，也深切感受到了濟南高新區(qū)對高新技術企業(yè)的高度重視和大力支持。

2025年4月，艾恩半導體在濟南高新區(qū)的研發(fā)與制造中心正式投產(chǎn)。該制造中心年產(chǎn)能達30臺，有效填補了山東省在高端半導體裝備制造領域的空白，為國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)鏈自主化注入了強勁動能。艾恩半導體自主研發(fā)的首臺碳化硅高溫離子注入機在客戶端測試效果超出預期，目前已進入小批量產(chǎn)階段。對標國際領先技術水平的第二代碳化硅離子注入機正在緊鑼密鼓地研發(fā)生產(chǎn)過程中，有望于今年9月面世。

未來，濟南高新區(qū)將充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)資源優(yōu)勢，協(xié)助解決艾恩半導體設備量產(chǎn)中的成本與交付難題，助力企業(yè)快速響應客戶需求，為設備驗證與產(chǎn)品應用提供廣闊的市場空間。同時聯(lián)合區(qū)內(nèi)集成電路重點企業(yè)及科研院所，開展前沿技術攻關，助力企業(yè)突破關鍵核心技術，全力推動濟南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補鏈延鏈強鏈。

（圖片來源：濟南高新區(qū)）