近日,濟南市艾恩半導(dǎo)體科技有限公司首款自主研發(fā)的硅基中束流離子注入機成功下線,這一突破為濟南高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)補鏈強鏈再添關(guān)鍵一環(huán),進一步完善了芯片制造核心裝備的產(chǎn)業(yè)拼圖。
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